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半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用

點(diǎn)擊次數(shù):3930    更新時(shí)間:2017-07-21

半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用

    半導(dǎo)體冷水機(jī)是指 應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域,如掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機(jī)組。

    半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用,是隨著科技的不斷發(fā)展,現(xiàn)代超精密制造、加工、測(cè)量?jī)x器對(duì)工作環(huán)境提出了苛刻要求,尤其是以光刻機(jī)為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備,其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求,同時(shí)投影物鏡的光刻質(zhì)量、運(yùn)動(dòng)部件的定位精度以及測(cè)量裝置的測(cè)量精度等都對(duì)環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此,環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問(wèn)題,而半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。

 半導(dǎo)體冷水機(jī)溫度控制系統(tǒng)是保證步進(jìn)掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設(shè)備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。

半導(dǎo)體冷水機(jī)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

型號(hào)

制冷量

出水壓力
Kgf/cm

水流量
l/min

功率
W

水箱容積
L

外形尺寸

長(zhǎng)*寬*高

半導(dǎo)體

冷水機(jī)

Kw/h

Kca/h

TF-LS-300W

0.3

258

0.1-0.6

9-20

280

5.5

505*230*500

TF-LS-600W

0.6

516

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1KW

1

860

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1.5KW

1.5

1290

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-2KW

2

1720

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-2.5KW

2.5

2150

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-3KW

3

2580

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-3.5KW

3.5

3010

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-4KW

4

3440

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-4.5KW

4.5

3870

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-6KW

6

5160

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-6.5KW

6.5

5590

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-8KW

8

6880

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-10KW

10

8600

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-12KW

12

10320

0-2

0-60

3870

80

1200*650*1200

TF-LS-15KW

15

12900

0-2

0-60

4600

88

1200*715*1200

TF-LS-18KW

18

15480

0-2

0-60

5280

105

1350*750*1500

TF-LS-20KW

20

17200

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-23KW

23

19780

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-25KW

25

21500

0-2

0-60

9000

195

1350*850*1735

TF-LS-30KW

30

25800

0-2

0-60

9000

195

1350*850*17358

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